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液環式真空泵使用時注意什麽

時間:2019-08-05 16:26 來源:www.boshanqunying.com作者:aadmin

  液環式真空泵是真空泵的一種,應用比較廣泛,那麽,液環式真空泵在使用時需要注意什麽?

  1、液環式真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求110-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

  2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为510-4~510-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在 10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于110-5mmHg为好。

  3、真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中産生的全部氣體量。

  4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如钛升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氩有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。

  5、真空設備對油汙染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油汙染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。

  6、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。

  7、真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有汙染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。

  8、真空泵工作時産生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

  以上便是液環式真空泵使用時注意什麽的主要内容。



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